特種氣體工藝系統(tǒng)一般性要求
2023-07-27 16:20:51
一般工藝氣體都是儲(chǔ)存在鋼瓶中，鋼瓶作為氣源相對(duì)方便使用。過(guò)去無(wú)論是在半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間，抑或是科研單位的實(shí)驗(yàn)室，鋼瓶總是出現(xiàn)在需要的地方，而沒(méi)有一個(gè)統(tǒng)一的規(guī)劃布置。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對(duì)其配套項(xiàng)目也提出了更高要求。比如在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專(zhuān)用裝置儲(chǔ)存鋼瓶，在過(guò)去十多年中，蓋斯帕克沒(méi)有發(fā)明集中供氣之前，特種氣體供應(yīng)沒(méi)有形成有效的系統(tǒng)，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問(wèn)題比較嚴(yán)重，極大的影響到用氣安全。彼時(shí)，隨著半導(dǎo)體、微電子行業(yè)的發(fā)展壯大，特氣系統(tǒng)的工藝要求也越來(lái)越規(guī)范。
特種氣體工藝系統(tǒng)的硬件需求：
儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。
氣體分配用閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)。
輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)。
尾氣處理裝置。
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工藝氣體的儲(chǔ)存方式比較多樣，有槽車(chē)、魚(yú)雷管拖掛車(chē)、集裝格、杜瓦罐、
各類(lèi)儲(chǔ)罐等。實(shí)驗(yàn)室、科研單位、一般半導(dǎo)體生產(chǎn)廠(chǎng)用的特氣多用鋼瓶存儲(chǔ)。特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特氣工藝的參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。不相容的特種氣體的排氣管道不應(yīng)該接入同一排氣系統(tǒng)。不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應(yīng)接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。